曝光機即電子串曝光機，是集電子光學、機械、真空、電氣、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域。專門用于FILM黃光制程而設計制作的設備，系統(tǒng)采用進口平行光源、雙工位抽屜進出曝光平臺交替工作進行FILM濕膜、干膜曝光。